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壓電掃描臺|P78|新品發(fā)布|芯明天

更新時間: 2018-09-25

壓電掃描臺P78.Z100-D1是專為生物醫(yī)療應用而設計的用于樣品顯微掃描的壓電掃描臺,它的外形結構易于集成于顯微儀器設備中。壓電掃描臺P78.Z100-D1的Z向運動范圍可達110µm。

 

 

 

特點:

行程范圍可達110µm

Z向分辨率可達4nm   

承載能力可達1kg

通孔尺寸為120×70mm

高度僅25mm

應用于Z向顯微掃描

 

應用:

醫(yī)療顯微成像、生物技術、超分辨率顯微鏡、光學圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測量、測量技術、自動聚焦系統(tǒng)、半導體測試等。

 

壓電掃描臺P78.Z100-D1對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的。它的高度僅25mm,中心具有120×70mm的通孔,可提供亞納米級分辨率的高精度運動。

壓電掃描臺P78.Z100-D1可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器,可消除溫度漂移,保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。

壓電掃描臺P78.Z100-D1的結構經過FEA建模仿真分析設計,無間隙、無摩擦,具有*的運動精度。同時,通過FEA優(yōu)化了直線度與平面度,為運動方向及垂直運動方向上提供了較高的剛度。因其并聯(lián)運動學的設計,將掃描臺的質量盡可能縮小,使結構更緊湊、響應速度更快。

壓電掃描臺P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D壓電控制器使用,使整個壓電顯微聚焦系統(tǒng)的體積非常小巧。可選擇閉環(huán)控制及上位機通信功能。

壓電掃描臺P78.Z100-D1技術參數(shù)

型號:P78.Z100-D1

運動自由度:Z

行程范圍(-20~+150 V):110µm

傳感器類型:SGS

通孔尺寸:120×70mm

閉/開環(huán)分辨率:7/4nm

閉環(huán)線性度:0.2%F.S.

閉環(huán)重復定位精度:0.1%F.S.

運動方向推/拉力:120/15N

運動方向剛度:1.5N/um

空載諧振頻率:200Hz

空載工作頻率(10%行程):50Hz

承載能力:1Kg, max

靜電容量:5.4μF/軸

工作溫度范圍:-20~80℃

外形尺寸:154×136×25mm

 

壓電控制器E53.D技術參數(shù)

型號:E53.D

供電輸入電壓:24V(20V~30V)/1A

靜態(tài)功耗:<5W

處理器:32bit 168MHz

D/A轉換器:16bit

A/D轉換器:16bit

通信接口:USB,RS-422,RS-232

傳感器類型:SGS

伺服特性:模擬P-I+帶阻+低通

通道數(shù):1 通道

標稱模擬輸入范圍:0~10V

標稱輸出電壓范圍:0~120V(可選0~150V)

電流:1A

平均電流:60mA

放大器帶寬:10kHz

紋波:10mVpp(加載2.2uF)

額定輸出功率:9W

工作溫度范圍:0至50℃

輸出短路電流:60mA

過流指示:平均電流超過60mA則過流指示燈亮

控制輸入連接器:SMB連接器

傳感輸出連接器:SMA連接器

PZT連接器:LEMO單芯

SENSOR連接器:LEMO四芯

通信連接器:DB9、MicroUSB

尺寸:130×80×27.5mm

重量:0.35kg

 

壓電掃描臺P78.Z100-D1與壓電控制器E53.D配套使用,非常適于空間受限的超分辨顯微掃描、成像應用中。

 

應用案例之顯微聚焦

利用芯明天壓電掃描臺P78.Z100-D1,可進行樣品的顯微聚焦,提高成像的聚焦精度,可使成像更清晰,增加圖像的分辨率。P78.Z100-D1壓電掃描臺的聚焦速度可達亞毫秒量級,使得自動聚焦系統(tǒng)的聚焦速度更快。匹配E53.D系列壓電控制器,體積小巧,更易于集成。

 

 

 

 

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