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驅(qū)動(dòng)元件

芯明天壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，主要利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，通過(guò)對(duì)壓電陶瓷施加電場(chǎng)，產(chǎn)生納米級(jí)精度的致動(dòng)位移。壓電陶瓷具有優(yōu)異性能及超長(zhǎng)使用壽命，多種尺寸及位移集成到納米定位系統(tǒng)中滿足不同應(yīng)用的需求。

壓電陶瓷

內(nèi)部結(jié)構(gòu)

柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無(wú)摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺(tái)。同時(shí)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺(tái)的使用壽命。

柔性鉸鏈

運(yùn)動(dòng)自由度

芯明天壓電納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸方向的精密運(yùn)動(dòng)。

位移行程

芯明天壓電納米定位臺(tái)的位移行程通常在幾微米至幾百微米之間，更大行程范圍可定制。

分辨率

壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用的壓電陶瓷本身具有無(wú)限高的分辨率，但由于受外部控制信號(hào)及其他因素的影響，使得可實(shí)現(xiàn)的分辨率是有限的。以P63系列為例，配套芯明天E01系列壓電控制器，可以實(shí)現(xiàn)0.1nm的步進(jìn)分辨率。

步進(jìn)分辨率

響應(yīng)時(shí)間

壓電納米定位臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒級(jí)，以P11系列為例，配套芯明天E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的響應(yīng)時(shí)間。

響應(yīng)時(shí)間

驅(qū)動(dòng)電壓

芯明天壓電納米定位臺(tái)的驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在0~120V。

可選閉環(huán)反饋

芯明天壓電納米定位臺(tái)可選配集成 SGS 應(yīng)變傳感器、 位移傳感器或CAP電容傳感器，以消除PZT 壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性，使得輸入控制電壓與輸出位移成線性關(guān)系。芯明天壓電產(chǎn)品均可選閉環(huán)版本，配套芯明天閉環(huán)控制系統(tǒng)，壓電控制器通過(guò)PID算法進(jìn)行電壓調(diào)整對(duì)位移進(jìn)行實(shí)時(shí)修正，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位精度，穩(wěn)定性好，可靠性高。

閉環(huán)傳感器