壓電掃描臺的響應(yīng)速度十分迅速，利用壓電陶瓷的形變驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，采用硅高精度位移傳感器，并利用超低電子噪聲的控制器使位移平臺擁有緊湊的體積、亞微米的分辨率及超低底噪。被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。
壓電掃描臺專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
空式壓電平臺是指平臺臺面有透空通孔的平移臺。主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整，可與顯微鏡和分析設(shè)備結(jié)合使用用于定位與測量。如超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM顯微鏡）生物學(xué)研究等。
壓電掃描臺主要應(yīng)用：
1.圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微；
2.干涉/計(jì)量；
3.表面檢測；
4.晶圓定位/微操作。
壓電掃描臺大行程穩(wěn)定性好響應(yīng)速度快，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度掃描臺可實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。
