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對(duì)于打算利用壓電平臺(tái)進(jìn)行高精度調(diào)節(jié)的一些用戶，在了解到壓電平臺(tái)的納米級(jí)高精度時(shí)，時(shí)間是一種“求之心切”的心態(tài)，想立刻將它集成到自己的系統(tǒng)里，然而在得知壓電平臺(tái)的微米級(jí)運(yùn)動(dòng)范圍時(shí)又“望而卻步”。

針對(duì)這種想用而又卻步的使用者，芯明天公司專門設(shè)計(jì)了壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，這種平臺(tái)既得到了壓電平臺(tái)的納米級(jí)高精度，又擁有了幾十毫米甚至米級(jí)的運(yùn)動(dòng)范圍！

注：分辨率的數(shù)值越低，分辨率越高。

壓電宏微復(fù)合平臺(tái)組成介紹

壓電宏微復(fù)合平臺(tái)是將壓電平臺(tái)與手調(diào)或其他電動(dòng)平移臺(tái)相結(jié)合，且該結(jié)合不會(huì)損失壓電平臺(tái)的高分辨率。利用手調(diào)平移臺(tái)的壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，一般手調(diào)行程為13mm，且它的分辨率達(dá)10μm，在壓電平臺(tái)精調(diào)行程范圍內(nèi)。在手動(dòng)進(jìn)行粗調(diào)后，再利用壓電平臺(tái)進(jìn)行納米級(jí)的精調(diào)。

如上圖所示，壓電宏微復(fù)合平臺(tái)由壓電平臺(tái)、千分尺（或其他電動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)）及移動(dòng)臺(tái)面組成，看似簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，然而在設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造及裝配時(shí)卻有著非常高的難度。壓電平臺(tái)必須與千分尺及移動(dòng)臺(tái)面完美的結(jié)合，任何一處細(xì)節(jié)，都要考慮周全，即使只是一處的螺絲。

壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)自由度在1至3維間自由選擇，組合式結(jié)構(gòu)使其在三維運(yùn)動(dòng)時(shí)軸間無(wú)耦合。

芯明天具有兩種標(biāo)準(zhǔn)壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，分別為P83、P84系列，兩者粗調(diào)行程相同，都為13mm，精調(diào)行程分別為25μm和100μm，下圖為芯明天P83系列，P84系列與P83系列外形近似。

參數(shù)、尺寸、外形皆可定制

芯明天標(biāo)準(zhǔn)品壓電宏微復(fù)合平臺(tái)中粗調(diào)行程標(biāo)準(zhǔn)為13mm，壓電精調(diào)行程為25μm或100μm可選。而對(duì)于壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的參數(shù)等“別有他求”時(shí)，是可通過(guò)定制來(lái)得到的，例如宏動(dòng)粗調(diào)平臺(tái)的尺寸、外形、參數(shù)，以及壓電平臺(tái)的尺寸、外形、參數(shù)等，皆可定制。

下圖中為定制型壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，采用壓電平臺(tái)與電機(jī)平臺(tái)相結(jié)合，未使用千分尺。它是XY二維運(yùn)動(dòng)，每軸的粗調(diào)行程達(dá)50mm/軸以上，精調(diào)行程68μm/軸。

下圖是又一款定制型壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，它是采用Z向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)與XY手調(diào)平臺(tái)相結(jié)合，Z向壓電行程達(dá)260μm以上，并且中心具有通孔。在完成XY手動(dòng)調(diào)節(jié)位置后，可進(jìn)行Z向的高精度位置調(diào)節(jié)，非常適用于顯微成像等場(chǎng)景。

壓電千分尺

而壓電千分尺是沒(méi)有移動(dòng)臺(tái)面的壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，對(duì)于一些用戶，已經(jīng)有自己的移動(dòng)臺(tái)面，只需壓電千分尺這種宏微致動(dòng)的促動(dòng)器，對(duì)于這種需求，就可以直接選擇芯明天的壓電千分尺，并且可定制設(shè)計(jì)接口。 

更多信息，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注芯明天動(dòng)態(tài)！