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精密、超精密加工技術在我國的應用已不再局限于航空航天或其他應用等少數(shù)部門，它已擴展到日常生活與應用中的許多領域，應用規(guī)模也有很大的增長。超精密加工是實現(xiàn)納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進給，在工件表面進行加工。此外也可加工各種回轉(zhuǎn)表面，如內(nèi)圓柱面、內(nèi)外圓錐面，螺紋、溝槽、端面和成型面等。

芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發(fā)設計的，利用自身所具有的高響應頻率、高剛度、高精度等特性，驅(qū)動刀具在運動方向快速實現(xiàn)滿行程118微米微進給，能夠?qū)崿F(xiàn)復雜面形工件或結(jié)構的精密加工，特別是適合刀具微進給、誤差補償、FTS微位移工作臺等應用。

技術參數(shù)

型號：P93.X100

行程范圍（0~120V）：95μm

行程范圍（0~150V）：118μm

傳感器：CAP/

閉/開環(huán)分辨率：15/20/10nm

閉環(huán)線性度：0.1/0.15%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.03/0.05%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<20μrad

推/拉力： 300/25N

運動方向剛度：3N/μm

空載諧振頻率：0.2kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間：30/7ms

承載能力：20kg

靜電容量：15μF

材質(zhì)：鋼

重量：3500g

驅(qū)動控制

E01.D1系列壓電控制器具有輸出高功率、高電流等特點，非常適于驅(qū)動電容較大的快速刀具定位臺。