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芯明天Z向掃描臺(tái)配套數(shù)字式控制器用于顯微計(jì)量

更新時(shí)間: 2020-10-09

芯明天致力于納米級(jí)精密定位與運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,已經(jīng)發(fā)布了多種用于顯微計(jì)量學(xué)的掃描控制系統(tǒng)解決方案,包含高精密快速掃描的壓電納米定位臺(tái)及小體積數(shù)字式伺服控制器。

P78.Z100壓電顯微樣品臺(tái)

P78系列壓電顯微樣品臺(tái)可以帶動(dòng)樣品以亞納米級(jí)分辨率進(jìn)行高速掃描與定位,是顯微計(jì)量學(xué)和高分辨率顯微鏡應(yīng)用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器,對(duì)位移實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并反饋給閉環(huán)壓電控制器,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)確保實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)、高剛度及毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,緊湊的外形結(jié)構(gòu)易于集成到顯微儀器設(shè)備中。

特性

· 一維Z軸運(yùn)動(dòng)

· 運(yùn)動(dòng)行程100μm

· 閉環(huán)SGS傳感器

· 分辨率可達(dá)4nm

· 通孔尺寸120×70mm

· 空載階躍時(shí)間5ms

· 空載諧頻200Hz

· 承載能力1kg

· 外形尺寸:154×136×25mm

 

E53.D數(shù)字式伺服控制器

與傳統(tǒng)的控制器相比,數(shù)字式伺服壓電控制器具有更高的線性度,操作簡(jiǎn)單以及易于控制的優(yōu)點(diǎn)。E53系列控制器,體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,且提供了快速響應(yīng)的實(shí)時(shí)修正,通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度,從而實(shí)現(xiàn)納米定位臺(tái)精確、穩(wěn)定的運(yùn)動(dòng)。

特性

· 一通道 閉環(huán)控制

· 0~120/150V輸出

· 平均電流60mA

· 放大器帶寬10kHZ

· 通信接口:USB/RS-422/RS-232

· 重量:350g

· 外形尺寸:148×27.5×80mm

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