P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺(tái)*樣品校準(zhǔn)應(yīng)用的要求，45mm×45mm的大孔徑允許直接將物鏡放置在樣品下面。集成閉環(huán)反饋傳感器，保證長(zhǎng)期高精度樣品調(diào)整，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無耦合。

產(chǎn)品特性

· 三維壓電式樣品定位臺(tái)
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)X250/Y250/Z100μm
· 快速響應(yīng)

閉環(huán)定位精度高

P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺(tái)配置高分辨率傳感器，對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移，從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。

帶載階躍時(shí)間

P12A.XY2Z100帶載100g，滿行程階躍時(shí)間60ms。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P12A.XY200Z100S

運(yùn)動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍（0~120V）：XY200/Z80μm

行程范圍（0~150V）：XY250/Z100μm

閉環(huán)傳感器：SGS

閉環(huán)分辨率：XY13/Z7nm

閉環(huán)線性度：XY0.1/Z0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：XY0.05/Z0.1%F.S.

空載諧振頻率：XY240/Z150Hz

承載能力：500g

靜電電容：XY7.2/Z1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁