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激光光束偏轉及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫(yī)學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用，同時對其性能要求也越來越高。壓電陶瓷驅動的偏轉鏡具有更高的精度和更高的頻率，采用應變傳感器的閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅動器直接驅動，多用于圖象處理與穩(wěn)定、激光掃描與通信、光束偏轉與穩(wěn)定等系統(tǒng)。

特點

• 二維θx、θy偏轉

• 偏轉范圍可達12.5mrad

• 毫秒響應時間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

• 可定制適于航天應用版本、真空版本

閉環(huán)曲線

P33.T8S壓電偏轉鏡的電壓與偏轉角度曲線。

帶載階躍時間

P33.T8S壓電偏轉鏡帶載50g負載達滿行程的階躍時間約40ms。

技術參數(shù)

型號：P33.T8S

運動自由度：θx θy

行程范圍@120V：10mrad（≈2060秒）/±5mrad(≈±1030秒)

行程范圍@150V：12.5mrad（≈2500秒）/±6.25mrad(≈±1250秒)

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1秒)

閉環(huán)線性度：0.25%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：3.1kHz

閉環(huán)載階躍時間：8ms

靜電容量：14.5μF/軸

材質：鋼

重量：340g

偏轉臺長度：91mm

配套壓電控制器

壓電控制器的主要功能是將微弱的外部模擬輸入信號，通過內部功率放大模塊將微弱的信號放大到能夠滿足對壓電偏轉鏡驅動的要求。P33.T8S配套的E70系列壓電控制器具有大功率、高帶寬、低紋波噪聲等特點，通過優(yōu)化傳感伺服模塊提供了PI調節(jié)與控制的精準度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設計保證了控制的高頻響應速度。