壓電運動平臺在光纖對準中的應用
當兩根光纖接續(xù)時,由于兩光纖位置、形狀、結構等的差異,造成能量并不能100%的從一根光纖進入另一根光纖,即會出現連接損耗。為了盡量地減小連接損耗,兩根光纖之間必須精密對準。
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光通訊是利用光波來載送信息,實現通信。在光通訊器件的生產使用中,光纖對準是一項最基本,也是最重要的操作。多模光纖可以采用外徑對合法。而單模光纖必須采用芯軸對合。通常采用功率法,即對從光源發(fā)出經過對接點處到達光纖末端的光強進行監(jiān)視。通過不斷調整光纖的對應位置,使通過接頭處的功率達到最大,也就是達到最大耦合能力,及最小耦合損失(dB)。
一般的光纖對準系統可由以下幾個部分組成:機械運動系統、光學系統、運動控制系統等。
運動系統組成示意
光纖的對準,可以模擬為空間兩根直線的*重合。為了達到這個目的,需要多個維度的運動調節(jié),直線調節(jié)和旋轉調節(jié),并要求精度足夠高,操作足夠方便。
芯明天三維壓電螺釘平臺、六軸壓電納米定位臺以其納米級別的調節(jié)精度、方便的軟件操作成為光纖對準系統中*的部分。
在光纖端面切割足夠平整情況下,可采用如下圖中所示的光纖對準結構。其中毫米行程的壓電螺釘運動平臺提供三維的宏動調節(jié),位移增量可控制在30nm以內;而六軸壓電納米定位臺(X、Y、Z、θx、θy、θz)可提供微米級直線位置調節(jié)及毫弧度級角度位置調節(jié),具有納米級直線精度與納弧度級角度精度,保證光纖對準的準確性。此外,六軸壓電運動平臺的響應速度達毫秒,可快速進行光纖的精確對準。
芯明天三維壓電螺釘平臺、三維壓電定位平臺及壓電偏轉平臺以其納米級別的調節(jié)精度、方便的軟件操作成為光纖對準系統中*的部分。
l 三維壓電螺釘運動平臺 - XYZ粗調
芯明天XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅動的XYZ三維運動平臺,可實現毫米級大行程位置調整,行程可達25.4mm/軸,同時可實現納米級位移增量,廣泛應用于精密定位及半導體測試等領域。同時適用于真空應用環(huán)境要求,真空度可達10^-5Pa。
特點
• XYZ向運動
• 行程可達25.4mm/軸
• 分辨率達0.5μm
• 真空度達10^-5Pa
• 可定制閉環(huán)版本、更高真空版本
l 壓電六軸運動平臺
芯明天具有多種壓電六軸運動平臺,是可產生θx、θy、θz、X、Y、Z六軸運動的工作平臺,分為并聯結構型、串聯結構型,其中并聯結構型是通過六支壓電促動器的并聯協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,串聯結構型的臺體結構更加緊湊。兩種結構都可選擇閉環(huán)版本獲取更高的定位精度,適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應用。
特點
• X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動
• 微米級直線運動
• 毫弧度級角度運動
• 毫秒級快速響應
此外,芯明天具有多種直線壓電促動器、三軸壓電納米定位臺、二維θx、θy壓電偏轉平臺,可針對不同的光纖對準結構來選擇集成。
l XYZ精調壓電陶瓷促動器-直線運動
壓電陶瓷促動器采用壓電陶瓷直驅式結構,特點是出力大、響應速度快,可選配傳感器進行閉環(huán)反饋。在封裝壓電陶瓷促動器的頂部和底部分別由螺紋固定,固定方式可定制,如外螺紋、內螺紋、球頭、平頭等。特點
• 可達百微米行程
• 納米級分辨率
• 閉環(huán)版本具有更高的精度
• 毫秒級響應速度
• 高可靠性
l 三維壓電運動平臺 - XYZ精調
P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。
特點
• 1~3維運動
• 三維運動位移可達100μm/軸
• 體積小巧
• 毫秒級響應時間
• 納米級定位精度
• 真空版本可選
l 二維壓電偏擺臺 - θxθy精調
S54系列是具有中心通孔的二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統中。
特點
• θx、θy偏擺運動
• 開環(huán)、閉環(huán)可供選擇
• 80×80mm大通孔
• 分辨率高
• 外形超薄
通過集成以上芯明天粗調、精調及角度精調壓電運動產品,可進行更加快速、精準的光纖對接,減少對接時間,提高效率,同時,大幅提高光纖對接的精度!
芯明天高精度壓電納米運動產品,提供納米級高精度與毫秒級響應時間,適用于各類光學及對準應用,不只適于光纖對準,還適用于光柵對準、顯微、成像、光束穩(wěn)定、納米接合、納米制造等應用。