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壓電平移臺在納米壓印技術中的應用

更新時間: 2022-06-27
  壓電平移臺采用機構放大設計原理,中間具有通孔,非常適用于近場掃描、共焦顯微等應用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm,Z軸直線運動行程可達800μm。中間通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36",便于與顯微鏡集成安裝??善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。
 
  壓電平移臺內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動小化。開環(huán)、閉環(huán)可選,真空版本可選。
 
  納米壓印過程中壓電納米平臺及促動器可以提供穩(wěn)定的位移輸出與控制操作,精度可以達到納米級別,同時可以提供較大的出力和快速的響應,壓電納米平臺是納米壓印技術的重要執(zhí)行元件。
 
  納米壓印技術基本思想是通過轉移介質(zhì)將掩模板上的圖形轉移到基板上,轉移介質(zhì)多使用聚合物薄膜(如PMMA、PDMS等)。納米壓印工藝包括圖形復制和圖形轉移兩大步驟,掩模板在壓力的作用下壓進轉移介質(zhì),經(jīng)一段時間后轉移介質(zhì)將納米腔穴充分填充,隨之釋放壓力進行固化脫模,即可在基板上形成輔助轉移圖形。
 
  在圖形復制過程結束之后,首先需要采用各向異性刻蝕或者反應離子刻蝕(RIE)等方法去除掉基板上的抗蝕劑殘余層,然后開始圖形轉移過程。轉移圖形可以通過刻蝕或者剝離(淀積、溶脫)方法獲得。
 
  在刻蝕過程中,基板上抗蝕劑材料的圖形結構被當作掩蔽層,然后采用各向異性刻蝕等方法對基板進行刻蝕,這樣就將圖形轉移到基板上。剝離由淀積和溶脫兩個步驟組成,先在抗蝕劑的表面鍍上一層金屬薄膜,然后用有機溶劑將抗蝕劑和其表面的金屬薄膜溶解掉,基板剩余的金屬薄膜形成了與掩模板上圖形一樣的微結構,即獲得轉移圖形。
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