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芯明天壓電偏擺臺的優(yōu)勢與選型

更新時間: 2022-08-31

芯明天軟件控制壓電控制器是指通過上位機(jī)軟件控制,具有功率放大功能,且輸出電壓、輸出頻率可調(diào),具有操作方便、數(shù)據(jù)精準(zhǔn)、軟件支持二次開發(fā)等優(yōu)點(diǎn)。用于驅(qū)動控制壓電納米定位產(chǎn)品,如壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電偏擺臺等。

激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、軍事探測、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用,同時對其性能要求也越來越高,受其體積,掃描頻率,掃描精度,掃描分辨率等諸多因素的制約。通過我公司壓電快速偏擺臺可**的解決以上問題。

基于壓電陶瓷驅(qū)動器的快速偏擺臺具有很高的諧振頻率,掃描角度小、分辨率高、線性度好,一般應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)、光束跟蹤和穩(wěn)定等需要快速響應(yīng)和小角度偏轉(zhuǎn)的領(lǐng)域。

壓電偏擺臺具有更快的加速度和更高的帶寬,具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導(dǎo)向,并且導(dǎo)向精確性優(yōu)良,采用傳感器的閉環(huán)系統(tǒng),具有很高的精確度。  

壓電偏擺臺采用壓電陶瓷驅(qū)動器直接驅(qū)動,多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定等系統(tǒng)。

哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏擺臺具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發(fā)熱等特點(diǎn)。且已經(jīng)過多家科研院所測試,驗證了壓電偏轉(zhuǎn)臺分辯率高,重復(fù)定位精度高,在要求偏轉(zhuǎn)角度為mrad量級、分辨率要求μrad量級的激光掃描系統(tǒng)中表現(xiàn)出很好的特性。

壓電偏擺臺型號選擇請參考下表

型號

角度范圍

分辨率

S50.U0C/K

θx

0.19mrad(≈39秒)

-

S50.U0C/K-D1

θx

0.5mrad(≈100秒)

0.01μrad(<0.01秒)

S50.UR1S/K

θx、θz

1.3mrad(≈268秒)/軸

0.03μrad(<0.01秒)

S51.ZT1S/K

θx、θy、Z

±1.1mrad(≈±220 秒)/軸

100μm

0.05μrad(≈0.01 秒)

4nm

S51.ZT1S/K-C1

θx、θy、Z

±1.1mrad(≈±220秒)/軸

110mrad

0.05μrad(≈0.01 秒)

4nm

S54

θx、θy

±1mrad(≈±200秒)/軸

0.05μrad(≈0.01秒)

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