亚洲av乱码va国产av-十八禁影片日韩精品视频-麻豆大菠萝福建天美传媒-内射后入日韩欧美精品

歡迎來哈爾濱芯明天科技有限公司!我們將為您提供到位的服務(wù)!
首頁 > 技術(shù)文章 > H60.XYZTR5六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)

H60.XYZTR5六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)

更新時(shí)間: 2024-11-23

隨著科研及工業(yè)領(lǐng)域科技的不斷提升,對于靈活運(yùn)動(dòng)且高精密的定位系統(tǒng)需求越來越多。芯明天研發(fā)生產(chǎn)壓電納米定位臺可產(chǎn)生1~6軸運(yùn)動(dòng),可直線,可偏轉(zhuǎn),且速度快、精度高,可廣泛用于半導(dǎo)體、光學(xué)、醫(yī)療、航空航天、生物科技等微納操作領(lǐng)域。

 

H60.XYZTR5六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)

H60.XYZTR5系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)壓電納米定位臺,是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運(yùn)動(dòng)定位臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,通過六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調(diào)伸縮,配合先進(jìn)的控制算法,實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)1~6維的精密直線及角度運(yùn)動(dòng),臺體結(jié)構(gòu)緊湊。由于采用了并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì),它可以執(zhí)行復(fù)雜的多軸運(yùn)動(dòng)軌跡,閉環(huán)版本配置高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測反饋,實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制,具有高剛度、高可靠性和重復(fù)性。此版本為真空版本,可進(jìn)行真空環(huán)境適配。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

六自由度運(yùn)動(dòng)

大承載

閉環(huán)定位精度高

誤差無積累

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備

光學(xué)

晶圓檢測微加工

醫(yī)療

航空航天

技術(shù)參數(shù)

型號

H60.XYZTR5S/K

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

驅(qū)動(dòng)控制

6路驅(qū)動(dòng),6路傳感

X、Y軸標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

±40μm

Z軸標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

±27.5μm

θx、θy軸偏擺角度范圍(0~120V)

±0.6mrad

θz軸旋轉(zhuǎn)角度范圍(0~120V)

±0.8mrad

θx、θy、θz軸偏擺分辨率

優(yōu)于0.5μrad

X、Y、Z軸位移分辨率

優(yōu)于0.5nm

閉環(huán)線性度

優(yōu)于0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

優(yōu)于0.1%F.S.

結(jié)構(gòu)形式

六自由度并聯(lián)式

驅(qū)動(dòng)方式

壓電陶瓷促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)

承載能力

5kg

重量

1300g

配套控制器

E70.D6S壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)H60.XYZTR5六自由度壓電運(yùn)動(dòng)平臺。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器。E70.D6S為2個(gè)模塊化E70系列壓電陶瓷控制器級聯(lián)形成,單個(gè)E70模塊通道數(shù)為3通道,最多可級聯(lián)32個(gè)模塊,達(dá)96通道。控制器采用DC24V供電,可通過外部模擬信號或RS-422接口數(shù)字通信進(jìn)行控制、開/閉環(huán)可選、集成式PZT&sensor接口便于連接,外部可設(shè)定控制功能,操作簡單便捷。

更多詳情歡迎致電芯明天!

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層
聯(lián)系人:楊先生
手機(jī)號碼:17051647888
固定電話:0451-86268790

哈爾濱芯明天科技有限公司(pdsxdl.com)主營:壓電促動(dòng)器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器

哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有  ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng)  網(wǎng)站地圖

亚洲男人天堂最新地址| 色综合亚洲一区二区小说| 日韩黄国产一区二区三| 国产av网站精品成人| 国产精品超碰在线观看| 国产91九色视频在线| 亚洲五月婷婷久久综合| 国产午夜视频在线观看一区| 日本一区二区三区精彩视频| 国产福利91精品一区二区三| 欧美精品黄片免费在线观看| 在线国产精品中文字幕| 亚洲天堂,男人的天堂| 色婷婷狠狠久久综合中文一本| 欧美日韩天堂一区二区| 91性感视频在线播放| av中文字幕在线电影| 偷窥偷拍视频一区二区| 国产精品乱人偷免费视频| 久久国产亚洲欧美一区| 亚洲成人乱码一区二区| 亚洲午夜一区二区精品| 国产人妖cd蜜雅丝袜美女| 色六月婷婷六月久久六月| 久久人体午夜激情视频| 日本经典三级视频在线观看| 亚洲热妇热女久久精品| 欧美一区二区三区中文字幕| 日韩最新人妻在线不卡| 亚洲精品国产亚洲精品| 91久久精品中文字幕| 九九九热精品视频在线观看| 日本精品在线亚洲国产欧美| 亚洲av日韩欧美精品| 国产一区二区在线乱码| 巴西老熟女大奶子多毛逼| 中文字幕人成乱码在线| 国产av剧情免费在线观看| 99热这里在线只有精品| 久久精品国产亚洲av不丁香| 午夜性生活免费观看视频|