P63系列1~3維超小體積壓電納米定位臺
更新時間： 2018-06-12
P63系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。
特性
• 1~3維自由組合
• 位移行程8μm
• zui大承載0.8kg
• 重復定位精度可達納米級
• 亞毫秒響應時間
1-3維平移臺
P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。
典型應用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術 • 半導體技術
• 質量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡
小體積、高精度、響應速度快
P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點是超級精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×30×42mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。
頻率負載曲線
應用實例
P63三維納米定位臺已經應用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實驗中。
P63.XYZ技術參數(shù)
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P63.XYZ7S P63.XYZ7K | 單位 |
運動自由度 | X、Y、Z | ||
標稱行程范圍 （0~120V） | 5.5/軸 | μm±20% | |
zui大行程范圍 （-20~150V） | 8/軸 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 0.2/0.1 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.15/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <15 | µrad | |
推/拉力 | 7/2 | N | |
運動方向剛度 | X0.9/Y1/Z1.2 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | X0.9/Y0.95/Z1.2 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 1.5/0.3 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | Hz±20% |
行程 | 50 | Hz±20% | |
zui大承載 | 0.4 | kg | |
靜電容量 | 0.8/軸 | μF±20% | |
材質 | 鋁 | ||
重量 | 160 | g±5% | |
出線長 | 1.5 | m±10mm | |
壓電納米定位臺的應用舉例
光纖端面檢測
光纖連接處出現(xiàn)問題是網絡故障的主要原因，因此光纖端面的檢測至關重要。
壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運動，配合顯微鏡完成對光纖端面質量的干涉檢測。
光纖對接
將光纖固定在壓電納米定位臺上，通過壓電納米定位臺的精密移動對光纖端面進行三維位置調整，從而實現(xiàn)光纖的精密對接。
硬盤測試
快速、準確的讀取計算機硬盤磁道的寬度對于提高硬盤存儲信號密度和讀取時間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤磁道定位提供了解決方案。
電化學加工
在電化學腐蝕加工中，通過微動平臺Z向微小移動，帶動懸臂梁懸掛加工件上下移動，完成與電解液的接觸，從而實現(xiàn)腐蝕加工。
3D錫膏檢測
錫膏測厚儀是一種利用光柵投影技術，將印刷在PCB板上的錫膏（紅膠）厚度、面積、體積等分布測量出來的設備。為了收集和高度有關的信息，在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺帶動光柵移動4次，移動一次拍攝一組圖像，zui終合成一組圖像顯示出測試結果。
