E09.Cap電容非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。   原理
它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時，傳感器仍是線性的。 應用： • Z向水準測量 • X, Y向定位 • 軸向振動測量 • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器 CAP電容測微儀系列技術參數型號 | E09.Cap | 單位 | 量程范圍 | 0~200 | μm | 線性度 | ±0.1 | μm | 靜態(tài)分辨率 | 2.5 | nm | 動態(tài)分辨率（1kHz） | 100 | nm | 傳感器直徑 | 10 | mm | 小目標直徑 | 10 | mm | 靜態(tài)重復性 | 5 | nm | 信號溫度穩(wěn)定性 | ＜ 0.005 | %FSO/℃ | 長期穩(wěn)定性 | ＜ 0.04 | %FSO/ 月 | 帶寬 | 2 | kHz（-3dB） | 工作溫度范圍 | +10~+50 | ℃ | 環(huán)境濕度 | <85 | % | 電壓輸出范圍 | 0~+10 | V | 供電電壓 | 220VAC 50Hz±10% | | 傳感器線長 | 1.6 | m | 板卡尺寸：長×高× 深 | 35×130×180 | mm | 機箱尺寸：長×高× 深 | 280×170×360 | mm |
CAP電容測微儀系列特性：  • 模塊化設計、自由組拼
• 可提供單個板卡模塊 • 高分辨率 • 模擬輸出 • 非接觸式測量 |
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